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半導体検査に最適なカメラを選定

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あらゆる用途には、それぞれ個別の要件があります。お客様のご用途に応じた最適なカメラ・ソリューションを見つけるお手伝いを致します。

 

半導体検査システムに対する要求レベルは、技術の進歩に伴い高まっています。 これまで以上に深く、ナノスケールにまで小型化が進み、数量や品質に対する要求レベルが高まる中、さらに高い解像度、さらに高速なフレームレート、新たな検査方法が必要とされています。

 

革新的なウエハー検査システムでは、ベア、エピタキシャル、パターニング、ダイシングされたウエハーにおける、表面、材料、工程の欠陥を全製造工程にわたって検出できます。

    このようなシステムには、自動光学検査(AOI)を適用しており、例としては、MEMS、先端パッケージング、RDL、バンプなどに対する、高精度かつ再現性の高い2Dおよび3D測定が挙げられます。自動光学検査では、一定の歩留まりを確保し維持できるようにします。

     

    半導体ウエハーの製造工程では、500点以上の工程が必要とされることが多いものです。したがって、製造工程の欠陥検出が早期であるほど、後続の工程での労力とコストが軽減されます。

     

    半導体検査用のカメラを選定される際には、以下の点が重要です。

     

    • 微小な欠陥の検出や最高水準の高精度なレイヤーアライメントに必要な高空間解像度イメージング機能。
    • 様々なセンサー(解像度とピクセルサイズの点において)とオプションのセンサー冷却機能、カメラインターフェースに対応する、拡張性と柔軟性を有するソリューション。
    • 高フレームレートで動作して生産スループットを向上させる、最新鋭のセンサー。
    • 再現性の高いイメージング結果を実現する、ペルチェ式冷却装置(TEC)によるアクティブセンサー冷却機能。
    • 汎用性の高いSDKとドライバーを使用した、プラグ・アンド・プレイ感覚でのイメージ画像処理システム設定。

    冷却、ハウジング、インターフェースの各種オプション

    アライドビジョンでは、豊富なSWIRカメラのポートフォリオをご用意しています。そのラインナップは、ペルチェ式冷却装置(TEC)を搭載した高性能なカメラ・ソリューションから、SWaP+C要件を満たすOEMシステム開発用のTEC非搭載のボードレベルタイプのカメラモジュールまで、多岐にわたります。3種類の解像度(QVGA、VGA、SXGA)と5種類のインターフェース(GigE、5GigE、USB3 Vision、MIPI CSI-2、Camera Link規格)から選択でき、お客様のニーズに合わせた半導体検査システムを設計できます。
     

    当社の高性能なSWIRカメラ・ソリューションを基に、特殊な機能や機械的な調整などを組み込んだオーダーメイドのソリューションについて、いつでもご相談を承ります。お客様独自のOEMニーズについて、当社の技術専門家が詳細を伺います。

     

    お客様のご用途に応じた最適なカメラを選定

    アライドビジョンは、InGaAsセンサー技術を用いたSWIRカメラの開発において、長年の経験を有しています。アライドビジョンは、この総合的な専門技術で幅広い用途に対応するため、均質性、ダイナミクス、リニアリティの面において、非常に高画質で最適なカメラを提供しています。

     

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    当社の技術者は、解像度・フレームレート・帯域幅・インターフェース・分光感度・センサー技術・技術プラットフォームを幅広くカバーするデジタルカメラを設計しています。

     

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