웨이퍼 생산에서 32K가 중요한 이유
카메라 수, 광학 시스템의 복잡성 또는 보정 작업을 늘리지 않고도 더 높은 해상도나 더 넓은 검사 범위를 확보할 수 있습니다.
동일한 시야각에서 더 높은 해상도 제공
동일한 시야를 유지하면서 검사 정밀도를 20 µm에서 10 µm 해상도로 향상시킵니다. 광학 설계를 변경하지 않고도 더 미세한 결함을 감지할 수 있습니다.
추가 카메라 없이 더 넓은 웨이퍼 커버리지 제공
단일 32K 라인 스캔 카메라 하나로 검사 범위를 150mm에서 300mm로 확장합니다. 스티칭 구역을 줄여 전체 웨이퍼에 걸쳐 끊김 없는 이미징을 구현합니다.
기존 16K 광학 설정 재사용
전체 광학 아키텍처를 재설계하지 않고도 시스템 업그레이드를 신속하게 진행할 수 있습니다. 표준 16K 광학 장치는 32K 카메라 플랫폼과 호환됩니다.
멀티 카메라 시스템 복잡성 감소
카메라, 광학 장치, 조명 및 프레임 그래버를 통합한 검증된 서브시스템을 통해 시스템 통합을 간소화하십시오. 이를 통해 엔지니어링 작업량을 줄이고 반도체 검사 환경에서의 도입을 가속화할 수 있습니다.
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