wafer brightfield coax 2000
wafer brightfield coax 2000

Halbleiter-Inspektion ohne Stitching

32k Zeilenbildgebung für die Halbleiter-Inspektion mit hohem Durchsatz

Geringere Systemkomplexität und zuverlässige Fehlererkennung.

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Warum 32K für die Waferproduktion wichtig sind

Erzielen Sie eine höhere Auflösung oder einen größeren Inspektionsbereich, ohne die Anzahl der Kameras, die optische Komplexität oder den Kalibrierungsaufwand zu erhöhen.

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Höhere Auflösung bei gleichem Field of View

Erhöhen Sie die Inspektionsgenauigkeit von 20 µm auf 10 µm Auflösung bei gleichbleibendem Field of View. Erkennen Sie kleinere Fehler, ohne den optischen Aufbau neu zu gestalten.

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Größere Abdeckung ohne zusätzliche Kameras

Erweitern Sie die Inspektion von 150 mm auf 300 mm mit einer einzigen 32K-Zeilenkamera. Ermöglichen Sie eine nahtlose Abbildung des gesamten Wafers mit weniger Stitching-Zonen.

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Vorhandene Optiksysteme mit 16K wiederverwenden

Beschleunigen Sie System-Upgrades, ohne die gesamte optische Architektur neu gestalten zu müssen: Die Standard-16K-Optik bleibt mit der 32K-Kameraplattform kompatibel.

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Reduzieren Sie die Komplexität von Multi-Kamera-Systemen

Vereinfachen Sie die Systemintegration mit einem validierten Subsystem, das Kamera, Optik, Beleuchtung und Framegrabber vereint. Reduzieren Sie den Entwicklungsaufwand und beschleunigen Sie die Implementierung in Umgebungen der Halbleiter-Inspektion.

 

Optimiert für die Halbleiterfertigung

Hochgeschwindigkeits-Zeilenabtastung, optimiert für Durchsatz, gleichbleibende Qualität der Inspektion und reflektierende Wafer-Oberflächen.

Analysis 03

Einheitliche Inspektionsqualität

Sorgen Sie für eine gleichbleibende Bildgebungsleistung über große Waferflächen hinweg durch eine nahtlose Erfassung in einem Durchgang.

Analysis 02

Zuverlässige Fehlererkennung

Erkennen Sie Partikel, Kratzer und Makrofehler auf reflektierenden Wafer-Oberflächen mithilfe einer hochgleichmäßigen Beleuchtung.

Optimization Support 05

Inspektionsdurchsatz

Scannen Sie ganze Wafer in weniger als 10 Sekunden, um Arbeitsabläufe bei der Halbleiter-Inspektion mit hohem Durchsatz zu unterstützen.

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