실리콘을 통해 보세요.

눈에 보이지 않는 결함을 더 빨리 발견하세요.

가시광선은 반도체 검사에서 사각지대를 남깁니다. 단파장 적외선은 이러한 사각지대를 해소하여 라인 전반의 표면 결함, 재료 차이, 정렬 특징을 드러냅니다. 키사이트의 엔드투엔드 SWIR 포트폴리오는 실험실부터 라인 내 AOI까지 통합되어 문제를 조기에 발견하고 수율을 보호하며 안심하고 출하할 수 있도록 도와줍니다.

소니의 SWIR 카메라 포트폴리오 살펴보기

반도체 생산 및 검사 분야의 적용 사례

베어 웨이퍼 단계부터 최종 납품에 이르기까지, 모든 단계에서 육안 검사는 필수적입니다. 고해상도 이미징과 맞춤형 조명이 결정적인 차이를 만들어내는 대표적인 적용 분야는 다음과 같습니다.

Semicon, Electronics & Display inspection

베어 및 패턴 웨이퍼 제조

웨이퍼 내 미세 균열 및 표면 하부 손상 탐지
웨이퍼 내부 및 전면 구조의 투과 이미징 (예: 정렬용)

고급 패키징

본딩 또는 적층 구조 내의 숨겨진 결함 탐지
다이 부착 품질 및 언더필 공극 검사

웨이퍼 또는 다이 본딩

웨이퍼 대 웨이퍼 및 다이 대 웨이퍼 본딩을 위한 실리콘을 통한 마크의 정밀한 정렬.
본딩 후 공극, 이물질, 기포 및 박리 현상 감지.

다이 분류 및 검사

톱질 또는 레이저 다이싱으로 인한 미세 균열의 식별(표면 하부 및 모서리 손상 포함)
패키징 전 다이 품질 등급 분류

왜 SWIR인가?

더 많이 보고, 더 많은 성과를 거두세요.

적외선은 전자기 스펙트럼상에서 가시광선과 마이크로파 사이에 위치하며, 단파장 적외선(SWIR)은 0.9~2.5μm의 파장 범위를 포함합니다. SWIR 복사는 육안으로는 볼 수 없지만 가시광선과 마찬가지로 물체와 상호작용하므로, 카메라가 다양한 물질을 투과하여 까다로운 환경 속에서도 "볼" 수 있게 해줍니다.

인듐 갈륨 비소(InGaAs) 기반 센서는 SWIR 대역의 빛을 감지하는 데 널리 사용됩니다. 이를 통해 다음과 같은 이점을 얻을 수 있습니다:

SWIR 파장대에서 실리콘 및 다양한 패키징 재료를 투과하여 관찰
가시광선에서는 똑같이 보이는 코팅, 접착제 및 오염 물질을 구별
저조도, 먼지 또는 안개 속에서도 관찰 가능
균일도 보정, 저노이즈, 장시간 노출에 적합한 냉각 기술을 통해 향상된 고화질 이미지 제공

SWIR 카메라 포트폴리오

Allied Vision은 에어리어 스캔 및 라인 스캔 SWIR 센서를 지원하는, 시장에서 가장 포괄적인 SWIR 카메라 제품군을 제공합니다. 단일 보드 레벨 옵션부터 컴팩트한 폼 팩터를 갖춘 하우징 모델, 강력한 센서 냉각 기능과 최대 2.2µm의 감도를 자랑하는 과학용 등급 솔루션까지 다양하게 선택하실 수 있습니다.

카메라 시리즈를 클릭하여 자세한 내용을 확인해 보세요!

Goldeye/Goldeye Pro - 탁월한 SWIR 이미징 성능

소음 없이 유지보수 없이 연중무휴 24시간 가동이 가능한, 콤팩트하고 견고한 팬리스 산업용 설계 (55mm x 55mm)
통합 TEC1 냉각 기능을 갖춘 고해상도 IMX99x Sony SenSWIR InGaAs 센서로, 가능한 최고 수준의 센서 해상도를 지원
비용 효율적이고 통합이 용이한 네트워크 연결을 통해 효율적인 데이터 전송을 지원하는 5개의 GigE 인터페이스
비균일성 및 결함 픽셀 보정을 포함한 고급 이미지 보정 기능이 이미지 간 즉시 적용됩니다
탁월하고 재현 가능한 화질을 위한 우수한 열 안정성으로 IMX992/993 센서에 대해 동급 최고의 성능을 보장

Goldeye - 다목적 고성능 SWIR Platfrom

까다로운 용도를 위한 두 가지 하우징 디자인: 소형 산업용(55mm x 55mm x 78mm) 및 고급 과학용(90mm x 90mm x 80mm)
IMX990/991 소니 SenSWIR 센서를 포함한 TEC1 또는 TEC2 냉각 방식의 다양한 InGaAs 센서 지원
장시간 노출 또는 최대 2,200nm까지 확장된 SWIR 감도를 위해 -30°C까지 강력한 센서 냉각 기능을 갖춘 모델
표준을 준수하는 GigE Vision 및 Camera Link 인터페이스
비균일성, 결함 픽셀 및 배경 보정을 포함한 고급 이미지 보정 기능. NUC 및 DPC 세트는 즉시(이미지 간) 적용됩니다.
높은 다이나믹 레인지(최대 >70dB)를 갖춘 뛰어난 이미지 품질

FXO - 최고의 처리량을 갖춘 SWIR 이미징

컴팩트한 산업용 하우징 디자인(50mm x 50mm)을 갖춘 세계 최고 속도의 고해상도 SWIR 카메라 시리즈
안정적인 센서 온도 유지 및 재현성 높은 이미징 결과를
위한 외부 팬 IMX990/992/993 Sony SenSWIR 센서 지원, 선택적으로 열전 냉각(TEC1) 적용 가능
최저 지연 시간과 최고 속도를 위한 CoaXPress-12 인터페이스
이더넷 네트워크를 통한 최고 처리량 및 간소화된 시스템 통합을 위한 10 GigE 인터페이스
비균일성 보정, 결함 픽셀 및 쉐이딩 보정을 포함한 고급 이미지 보정 기능. 설정에 따라 동적으로 로드되는 보정 세트
복잡한 다중 조명 시나리오를
지원하는 4채널 스트로브 컨트롤러 시간에 민감한 고속 검사 및 선별 애플리케이션을 위한 타의 추종을 불허하는 프레임 속도

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Alvium - 작고 유연하며 경제적인 SWIR

초소형 폼 팩터(29mm x 29mm), 경량, 고효율, 비용 효율적(SWaP+C 최적화)
보드 레벨 버전(Flex 및 Frame)과 다양한 장착 옵션을 포함한 높은 모듈성
테이핑 및 커버 글라스 제거 옵션을 포함한 모든 TEC 미사용 IMX99x SenSWIR 센서 지원
다양한 표준화된 인터페이스 옵션: USB3, GigE, 5GigE 및 CSI-2(MIPI), FPD-Link III 및 GMSL2용 레인지 익스텐더 포함
시퀀서, 컨볼루션 필터, 렌즈 쉐이딩 보정 등 확장된 기능 세트
임베디드 및 OEM SWIR 애플리케이션을 위한 최고의 설계 유연성 및 비용 효율성

exo - 접근 가능한 산업용 SWIR 이미징

신뢰할 수 있는 작동을 위한 콤팩트하고 견고한 산업용 디자인 (50mm x 50mm)
비용 효율적인 SWIR 이미징을 위한 TEC가 필요 없는 IMX990/991 Sony SenSWIR InGaAs 센서
간편한 통합을 위한 표준 준수 USB3 및 GigE Vision 인터페이스
복잡한 다중 조명 시나리오를 지원하는 4채널 스트로브 컨트롤러
합리적인 가격대에 산업용 등급의 품질을 갖춘 간결하고 안정적인 SWIR 성능

allPIXA SWIR - GigE 기반 라인 스캔 SWIR 이미징

C-마운트 렌즈 어댑터가 장착된 컴팩트한 디자인 (62mm x 62mm x 52mm)
512 또는 1024 픽셀(픽셀 크기 25μm 또는 12.5μm)의 InGaAs 라인 스캔 센서
최대 40kHz의 라인 속도로 높은 처리량 제공
GigE Vision 호환 인터페이스
DSNU, PRNU 및 LUT/Gamma를 포함한 포괄적인 온보드 이미지 보정 기능
열악한 조명 조건에서 감도를 높이는 수평 비닝
유연한 외부 라인 트리거링을 위한 주파수 변환기
통합 이미지 보정, 듀얼 해상도 옵션 및 표준 GigE 연결 기능을 갖춘 턴키 라인 스캔 SWIR 솔루션

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일반적인 애플리케이션을 위한 머신 비전 소프트웨어 라이브러리

eVision은 머신 비전 검사 애플리케이션을 위한 하드웨어 독립형 이미지 처리 및 분석 라이브러리 세트입니다. 당사의 머신 비전 소프트웨어는 프레임 그래버, GigE Vision, USB3 Vision 카메라를 포함한 모든 이미지 소스와 호환됩니다. 이 범용 라이브러리는 다음과 같은 SWIR 애플리케이션을 지원합니다:

매칭 및 측정

EasyFind: 기하학적 패턴 매칭
EasyGauge: 서브픽셀 측정 및 치수 제어
EasyMatch: 정규화 상관 관계를 이용한 패턴 매칭

미약한 결함의 표면 검사

EasySpotDetector: 미세 결함 및 오염 감지

딥 러닝 라이브러리

EasySegment: 결함 탐지 및 분할
EasyLocate: 이미지 내 물체, 제품 또는 결함의 위치 파악 및 식별
EasyClassify: 학습/훈련 과정 후 이미지 분류

구성 요소 그 이상. 전체 비전 시스템을 위한 하나의 소스.

Allied Vision은 고성능 카메라, 프레임 그래버, 네트워크 인터페이스 카드, 케이블, 소프트웨어 및 서비스를 하나의 시스템으로 통합하여 제공합니다. 이는 단순히 개별 부품의 조합이 아니라, 복잡성을 줄이고 인터페이스 관련 위험을 제거하며, 성능에 대한 책임을 지는 단일 파트너를 제공하는 통합 플랫폼입니다.

머신 비전 소프트웨어

Vimba X는 뷰어, C, C++, .NET 및 Python API 등을 포함하는 Allied Vision의 종합 SDK입니다. 이 SDK를 활용하면 GigE Vision 인터페이스를 지원하는 카메라를 어떤 시스템에든 손쉽게 통합하고 중앙에서 관리할 수 있습니다.
eVision용 Vimba X Bridge를 사용하면 eVision 이미지 처리 및 분석 라이브러리와 소프트웨어 도구를 손쉽게 이용할 수 있습니다.

프레임 그래버

CoaXPress-12 및 CoaXPress-6 카메라용 프레임 그래버 세트:

최대 8개의 CoaXPress 연결을 지원하는 PCIe 프레임 그래버
최대 20개의 디지털 I/O 라인을 갖춘 다기능 제품군
Memento 이벤트 로깅 도구
포괄적인 카메라 제어 기능
PoCXP(Power over CoaXPress) 카메라 전원 공급

네트워크 인터페이스 카드

카메라의 디지털 데이터를 네트워크 케이블을 통해 전송할 수 있는 신호로 변환하기 위해, 다양한 인터페이스 및 포트를 지원하는 Allied Vision 네트워크 인터페이스 카드가 제공됩니다.

1Gig, 5GigE 및 10 GigE용
1포트부터 4포트 모델까지
4포트 및 8포트용 USB3 NIC(1HC, 4HC 및 8HC)

I/O 및 전원 케이블

다양한 케이블 중에서 선택하여

카메라에 전원을 공급하기 위해
카메라에 전원을 공급하거나
카메라를 작동시키거나 카메라의 입출력을 사용하여 카메라에서 트리거 신호를 출력할 수 있습니다.

모든 케이블은 최상의 성능을 제공하기 위해 신호 무결성 테스트를 거쳤습니다. 또한 전자기 간섭 및 소재와 같은 규제 요건을 충족합니다.

지원 받기

반도체 산업의 SWIR 이미징 검사 애플리케이션을 위해 단일 부품이든 종합 솔루션이든, 저희 팀이 고객님께 가장 적합한 솔루션을 찾으실 수 있도록 도와드리겠습니다.

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