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Bilderfassung durch Halbleitermaterial hindurch

Infrarot-Mikroskopie mit Goldeye Kurzwellen-Infrarot-Kameras

Siliziumwafer sind eine Schlüsselkomponente in integrierten Schaltkreisen, die zu den Hauptbestandteilen fast aller elektronischen Geräte geworden sind. Die Fähigkeit, durch diese Halbleitermaterialien hindurchzusehen, bietet große Vorteile für den Herstellungsprozess, da Infrarotbilder Defekte wie Risse im Inneren des Siliziumwafers aufdecken.  Hersteller von integrierten Schaltkreisen (IC) verwenden die Infrarot-Imaging-Mikroskope von Radiant Optronics, die mit der SWIR-Kamera Goldeye G-008 von Allied Vision ausgestattet sind, um den IC auf interne Defekte oder Risse zu untersuchen, die während des Herstellungsprozesses entstehen können.

 

Die Herausforderung

Siliziumrisse gefährden die Qualität des Endprodukts

Wafer entwickeln während des Wachstums-, Säge-, Schleif-, Ätz- und Polierprozesses Spannungen. Risse können während des gesamten Prozesses entstehen. Wenn sie unentdeckt bleiben, können die Wafer in den nachfolgenden Fertigungsstufen unbrauchbar werden. Risse können auch entstehen, wenn die integrierten Schaltungen zerschnitten werden. Daher ist es entscheidend, das Rohmaterial vor der Verarbeitung auf Verunreinigungen zu prüfen und Defekte während der Verarbeitung zu erkennen, um die Produktionskosten niedrig zu halten.

Mit der steigenden Nachfrage nach Elektronik in der Gesellschaft, produzieren Halbleiterfabriken und Hersteller integrierter Schaltungen höhere Mengen an Wafern und ICs, um die Nachfrage zu erfüllen. Die steigende Nachfrage veranlasst die Industrie, modernste Bildverarbeitungstechnologien für die Qualitätskontrolle einzusetzen.

Die Lösung

Infrarot-Kamera erkennt Risse im Siliziumsubstrat

Radiant Optronics, ein Technologieunternehmen mit Hauptsitz in Singapur, ist spezialisiert auf die Anwendung der neuesten Technologieentwicklungen in der Fehleranalyse mit einem starken Fokus auf den Bereichen Halbleiter, Waferherstellung, Servicelabors, Verpackung und Leiterplattenbestückung in Asien.

Ihre Infrarot-Mikroskope sind mit Allied Visions SWIR-Kamera Goldeye G-008 ausgestattet, die auf hochleistungsfähige InGaAs-Sensoren aufbaut und höchste industrielle Standards erfüllt. Die Goldeye G-008 ist die schnellste SWIR-Kamera mit 1/4-VGA-Auflösung und GigE Vision-Schnittstelle. Mit Bildraten von bis zu 344 fps bei voller Auflösung können vielfältige Anwendungsbereiche abgedeckt und Fertigungsprozesse enorm verbessert werden.

Der Nutzen

Zuverlässige Unterstützung

"Die Goldeye G-008 ist ein Modell mit niedriger Auflösung zu einem erschwinglichen Preis. Die geringe Auflösung reicht aus, um die Fehler zu erkennen und ist somit die ideale Wahl für diese kostensensitive Anwendung. Unsere Kunden können von der herausragenden Leistung der Goldeye profitieren und wir werden von Allied Vision's Asia-Pacific Büro in Singapur unterstützt", so Christopher Cheong, Direktor von Radiant Optronics, als weitere Gründe für die Wahl der Allied Vision SWIR Kameras.

Indium-Gallium-Arsenid (InGaAs)-Kameras, die im SWIR-Wellenlängenbereich von 900 nm bis 1700 nm empfindlich sind, ermöglichen dem Anwender den Durchblick durch Halbleiter-Siliziumsubstrate. Die Fähigkeit, durch diese Halbleitermaterialien zu sehen, bietet einen großen Vorteil für den Herstellungsprozess, da Infrarotbilder Fehler wie Risse im Inneren des Siliziumwafers erfassen.

 

Die Goldeye G-008 ist die ideale Wahl für kostensensitive Anwendungen.

Die Kamera: Goldeye G-008

Goldeye G-008 bietet bestes Preis-Leistungs-Verhältnis

Die Goldeye G-008 ist die schnellste SWIR-Kamera mit 1/4-VGA-Auflösung und GigE Vision-Schnittstelle, die Bildraten von bis zu 344 fps bei voller Auflösung bietet. Alle Goldeye-Kameras sind mit einer aktiven thermo-elektrischen Kühlung (TEC1) ausgestattet und liefern rauscharme Bilder unabhängig von der Umgebungstemperatur. Ihr robustes, kompaktes Gehäuse mit lüfterlosem Kühlsystem bietet vielfältige Montagemöglichkeiten für eine einfache Systemintegration.

Highlights auf einen Blick

  • Schnelle und zuverlässige Erkennung von Defekten oder Rissen, die während des Herstellungsprozesses entstehen können.

  • Der günstige Preis der Goldeye-Kamera hilft, die Systemkosten niedrig zu halten.

  • Hohe Bildraten ermöglichen schnelle Fertigungsprozesse.