高精度ウェーハ検査用ラインスキャン
最高精度。最小欠陥。最高のプロセス信頼性。
カスタマイズされたビジョンソリューションについては、当社の専門家にお問い合わせください。
あらゆるウェーハサイズに最適なソリューション
アライドビジョンは、allPIXA evoカメラ、レンズ、Corona II照明、インテリジェント調整ツール、およびオプションのラインスキャンビジョンプラットフォームを組み合わせることで、200mmおよび300mmウェーハの両方に対応するウェーハ検査用標準コンポーネントで構成される完全なソリューションを提供します。高速で信頼性が高く、既存および新規の生産ラインに最適に統合可能です。
200 mm ウェーハサイズ
13 µm |
6.5 µm |
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オプション：アライメントアダプター、アライメント定規、および GCT へのアライメント機能のソフトウェア統合により、セットアップはミリ単位の精度で、迅速、再現性、信頼性を実現します。
300 mm ウェーハサイズ
9.5 µm |
5 µm |
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オプション：アライメントアダプター、アライメント定規、およびGCTへのアライメント機能のソフトウェア統合により、セットアップはミリ単位の精度を実現 – 高速、再現性、信頼性を兼ね備えています。
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